| 发明名称 |
INTERMETALLIC COMPOUND SEMICONDUCTOR THIN FILM AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6439018(A) |
申请公布日期 |
1989.02.09 |
| 申请号 |
JP19870067292 |
申请日期 |
1987.03.20 |
| 申请人 |
TOYO COMMUN EQUIP CO LTD |
发明人 |
FUKUNAKA TOSHIAKI;OSHITA MASAHIDE;INISHI MASAAKI |
| 分类号 |
C23C14/14;H01L21/203;H01L43/10;H01L43/12 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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