发明名称 VERTICAL TYPE HOLDER OF BASE PLATE
摘要
申请公布号 JPH02197568(A) 申请公布日期 1990.08.06
申请号 JP19890015783 申请日期 1989.01.25
申请人 ULVAC CORP 发明人 IKUNO KENJI
分类号 C23C14/50;C23C16/44;C23C16/458 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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