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Bei einem Verfahren für die optische Funkenemissionsspektrometrie, bei dem in einer Abfunkkammer ein Funkenplasma von einer Probe erzeugt und mittels eines mit der Abfunkkammer über einen Verbindungsraum insbesondere optisch verbundenen Spektralapparates spektralanalytisch ausgewertet wird, wobei der Verbindungsraum und die Abfunkkammer während eines Abfunkvorganges kontinuierlich von einem Schutzgas durchströmt werden, wird in dem Gassystem vor der Abfunkkammer ein Spüldruck aufgebaut, dessen schlagartige Freigabe z.B. vor Beginn des nächstfolgenden Abfunkvorganges eine impulsartige Durchströmung der Abfunkkammer mit dem freigegebenen Spülgasvolumen und damit eine vollständige Reinigung der Abfunkkammer von etwaigen Abbrandrückständen oder Luftanteilen bewirkt. Die Gasströmung während der Bereitschaftszeit kann unterbrochen werden. Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens weist eine Abfunkkammer mit einem Einlaß für das Spülgas auf, der mittels eines schlagartig zu öffnenden Absperrorgans gasdicht verschließbar ist.
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