发明名称 METHOD FOR SIMULTANEOUSLY CUTTING A MULTIPLICITY OF SLICES OF PARTICULARLY UNIFORM THICKNESS FROM A WORKPIECE
摘要 엄격하게 볼록한 커팅 면들을 따라, 원통형의 워크피스로부터 다수의 슬라이스들을 동시에 커팅하기 위한 방법으로서, 마운팅 스트립 및 와이어 소오(saw)의 공급 수단에 의해 와이어 가이드 롤러들의 축들에 평행한 워크피스의 축으로 워크피스를 유지하는 단계; 와이어 소오의 그리드를 통해, 공급 디바이스에 의해 위로부터 수직으로 워크피스를 이동시키는 단계를 포함하며, 그리드는 와이어 가이드 롤러들 주변에 와이어를 감고 와이어 가이드 롤러들의 축들에 수직인 와이어 가이드 롤러들에서의 그루브들에 가이드함으로써 서로 평행하며 일 평면에서 진행하는 다수의 와이어 부분들로 형성되며; 그리고 와이어 부분들에 커팅 수단으로서 캐리어 액체에 딱딱한 물질들의 서스펜션을 공급하는 단계를 포함하며, 길이방향 장력을 가지는 와이어 부분들은 회전의 제 1 방향과 회전의 제 1 방향과 반대인 회전의 제 2 방향 사이의 계속적인 변경으로 와이어 가이드 롤러들의 회전 결과로서 워크피스에 관한 상대적 움직임을 구현하며, 제 1 방향에서의 회전 동안, 와이어가 제 1 길이만큼 이동되며, 제 2 방향에서의 회전 동안, 와이어가 제 2 길이만큼 이동되며, 제 2 길이는 제 1 길이보다 더 짧도록 선택되며, 커팅 동작의 시작시에 제 1 길이방향 와이어 장력이 선택되며, 커팅 동작의 종료시에 제 2 길이방향 와이어 장력이 선택되며, 제 1 길이방향 장력은 제 2 길이방향 장력보다 더 크도록 선택된다.
申请公布号 KR101685329(B1) 申请公布日期 2016.12.09
申请号 KR20160071172 申请日期 2016.06.08
申请人 실트로닉 아게 发明人 피치 게오르크
分类号 H01L21/78;H01L23/00 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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