PROJECTION EXPOSURE DEVICE,申请号JP19920314839-传众专利搜索

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发明名称	PROJECTION EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号	JPH06163354(A)	申请公布日期	1994.06.10
申请号	JP19920314839	申请日期	1992.11.25
申请人	NIKON CORP	发明人	NISHI TAKECHIKA
分类号	G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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