| 发明名称 |
CANTILEVER SHAPED DISPLACEMENT ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06281443(A) |
申请公布日期 |
1994.10.07 |
| 申请号 |
JP19930089478 |
申请日期 |
1993.03.25 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
KAWADE ISAAKI;TAKIMOTO KIYOSHI;KISHI ETSURO;YANO KYOJI |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/10;G01Q60/16;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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