| 主权项 |
1.一种利用非平衡磁控溅射设备在钢材表面蒸镀含铬碳氢类钻膜之方法,其依序为:步骤一:备置一非平衡磁控溅射设备,该非平衡磁控溅射设备具有一容置空间之箱体,一设于箱体上之压电阀及流量控制器,一检测压电阀进入的气体之控制器,设于箱体内之铬靶与基板,以及一可供应基板偏压之射频偏压控制器等构件,而后将钢材置放于基板上;步骤二:经由流量控制器将氩气喷入箱体之容置空间内,同时铬靶上通以电流,以及射频偏压控制器针对基板施以电压,使得氩气撞击铬靶分离出铬原子,且该铬原子附着于钢材上而形成一铬层;步骤三:继续经由流量控制器将氩气喷入,亦同时由压电阀处将氮气喷入容置空间内,使得铬层上形成一层氮化铬;步骤四:氩气及氮气再持续分别经由流量控制器、压电阀喷入容置空间内,并且亦同时将乙炔(C2H2)喷入,使得氮化铬层上形成一层氮碳化铬;步骤五:关闭氮气进入,使得氩气及乙炔(C2H2)亦持续经由流量控制器、压电阀喷入容置空间内,致使氮碳化铬层上得以形成一层碳化铬;以及步骤六:氩气亦持续由流量控制器出喷入,同时增加乙炔含量,使得碳化铬层上稳固蒸镀附着一层非晶形含铬碳氢类钻膜者。2.依据申请专利范围第1项所述之利用非平衡磁控溅射设备在钢材表面蒸镀含铬碳氢类钻膜之方法,其中,该氮化铬层之铬占70-55Wt%(重量百分比),而氮占30-45Wt%(重量百分比)。3.依据申请专利范围第1项所述之利用非平衡磁控溅射设备在钢材表面蒸镀含铬碳氢类钻膜之方法,其中,该氮碳化铬层之铬占55-50Wt%(重量百分比),至于碳、氮则占45-50Wt%(重量百分比)。4.依据申请专利范围第1项所述之利用非平衡磁控溅射设备在钢材表面蒸镀含铬碳氢类钻膜之方法,其中,氩气以110-4-510-3毫巴(mbar)之分压喷入。5.依据申请专利范围第1项所述之利用非平衡磁控溅射设备在钢材表面蒸镀含铬碳氢类钻膜之方法,其中,氮气以110-4-510-3毫巴(mbar)之分压喷入。6.依据申请专利范围第1项所述之利用非平衡磁控溅射设备在钢材表面蒸镀含铬碳氢类钻膜之方法,其中,乙炔(C2H2)以110-4-110-2毫巴(mbar)之分压喷入。图式简单说明:第一图所示系本发明一可行实施例之非平衡磁控溅射设备示意图。第二图所示系本发明一可行实施例之流程示意图。第三图所示系本发明一可行实施例之镀膜组成排列示意图。第四图所示系本发明一可行实施例之镀膜纵深元素分布分析示意图。第五图所示系本发明一可行实施例之刮痕测试附着性的分析图。第六图所示系本发明一可行实施例之摩擦系数比较示意图。 |
