发明名称 semiconductor element method of fabricating the semiconductor and semiconductor device including the same
摘要 본 발명의 반도체 소자는 기판; 상기 기판 위에 형성된 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 위에 형성된 대역전압 조절막; 및 상기 게이트 절연막과 상기 대역전압 조절막 사이에 형성된 중간막을 구비하며, 상기 중간막에 발생되는 음의 대역 전압과 상기 기판과 상기 게이트 절연막 사이에 발생되는 양의 대역 전압이 상쇄된다.
申请公布号 KR20160120419(A) 申请公布日期 2016.10.18
申请号 KR20150049375 申请日期 2015.04.08
申请人 SK HYNIX INC.;KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 CHO, BYUNG JIN;AHN, HYUN JUN;MOON, JUNG MIN
分类号 H01L29/66;H01L21/314;H01L21/316 主分类号 H01L29/66
代理机构 代理人
主权项
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