| 摘要 |
본 발명은 잉곳의 품질에 영향을 미치지 않는 동시에 실리콘 융액의 진동을 효과적으로 저감시킬 수 있는 잉곳 성장장치의 도가니에 관한 것이다. 본 발명은 흑연 도가니의 내측에 구비되고, 실리콘 융액이 담기는 잉곳 성장장치의 석영 도가니에 있어서, 오목한 형태의 저면부; 상기 저면부 둘레에 상향 돌출되도록 구비된 원통 형태의 측면부; 및 상기 측면부 내측면에 내측 방향으로 볼록하게 구비된 볼록부를 포함하는 잉곳 성장장치의 석영 도가니를 제공한다. |
