| 主权项 |
1.一种用于清洁室之过滤系统之滤网更换辅助装置,空气过滤系统包含一个滤网,及一个滤网框朝向生产线内部向下延伸,其中该滤网更换辅助装置包含一个暂时框安装于滤网框之延伸部件对应位置以防污染空气通过其中。2.一种用于清洁室之滤网更换辅助装置,其包含:一块封阻板,其宽度待插过滤网框朝向生产线内侧向下延伸及其上配备有滤网;一个托架,供支撑封阻板底侧且面对滤网框内侧壁且其间维持恒定距离;及一根管具有空气通路及安装成沿托架周缘紧密黏着于滤网框供密封。3.如申请专利范围第2项之滤网更换辅助装置,其中该托架包含多片板,各片板彼此面对滤网框内侧壁之每个方向,及其中设置该管之位置具有凹面形状。4.如申请专利范围第3项之滤网更换辅助装置,其中该托架之上侧系与封阻板之下周缘侧整合一体。5.如申请专利范围第2项之滤网更换辅助装置,其中该托架包含一片上板面对封阻板底部,一片侧壁由上板至周缘侧向下延伸,及一片凸出板由侧壁向外延伸。6.如申请专利范围第2项之滤网更换辅助装置,其中一根手柄设置于托架底部某个位置。7.如申请专利范围第2项之滤网更换辅助装置,其中该管系由弹性聚合物制成。8.如申请专利范围第2项之滤网更换辅助装置,其中该管系以二者形成为双重结构。9.如申请专利范围第2项之滤网更换辅助装置,其中一个密封件安装而封阻滤网框边缘与其管之对应侧间之间隙。10.如申请专利范围第2项之滤网更换辅助装置,其中透明的确认视窗形成于封阻板。11.如申请专利范围第5项之滤网更换辅助装置,其中透明本体之确认视窗形成于封阻板,该确认视窗成形为具有某种尺寸之开口区形成于封阻板及上板二者上,及开口区之周缘侧紧密黏着于封阻板及托架之接触位置供密封。12.如申请专利范围第11项之滤网更换辅助装置,其中该透明本体系由抗静电透明丙烯酸系树脂制成。13.如申请专利范围第2项之滤网更换辅助装置,其中一个环形成于滤网框下侧,及一个悬吊件形成于托架底侧对应于该环位置。14.如申请专利范围第11项之滤网更换辅助装置,其中一个承载装置形成于上板之开口区俾支撑及承载透明本体底部。15.如申请专利范围第14项之滤网更换辅助装置,其中具有某个尺寸之孔形成于透明本体中心及于托架之对应位置上,该孔上安装一个容器形状的安装件,安装件底部有一孔而滤网设置于其内部。16.一种用于清洁室之滤网更换辅助装置,辅助装置包含:一个暂时框,设置供插入滤网框内朝向生产线内侧向下延伸及其上配备有滤网,其中该暂时框具有环绕周边之外侧壁面对滤网框之内侧壁,及于中心之贯穿位置设置有一个凸出部形成于其内侧壁俾安装辅助滤网于其上;一根管,其具有空气通道及安装成沿暂时框之外侧壁紧密黏着于暂时框供密封;及一个辅助滤网由暂时框内侧壁之上侧插入且由凸出部支撑。17.如申请专利范围第16项之滤网更换辅助装置,其中一个手柄设置于暂时框底部之某个位置。18.如申请专利范围第16项之滤网更换辅助装置,其中安装一个密封件俾封阻滤网框边缘与该管之对应侧间之间隙。图式简单说明:第一图为示意代表图显示习知制造半导体装置之清洁室;第二图为剖面图显示习知滤网更换辅助装置安装于清洁室之过滤系统内侧;第三图为剖面图显示根据本发明之滤网更换辅助装置安装于清洁室之过滤系统内侧;第四图为分解透视图显示第三图之滤网更换辅助装置细节;第五图为透视图显示第四图之滤网更换辅助装置之偶联状态;第六图为放大剖面图显示第五图之滤网更换辅助装置之安装状态;第七图为剖面图显示根据本发明之一个具体例之滤网更换辅助装置;及第八图为剖面图显示根据本发明之一个具体例之滤网更换辅助装置。 |
