发明名称 DISPOSITIF ADAPTATEUR POUR DES BOITES DE CONFINEMENT D'AU MOINS UN OBJET PLAT SOUS ATMOSPHERE ULTRAPROPRE
摘要
申请公布号 FR2779421(B1) 申请公布日期 2000.08.18
申请号 FR19980007317 申请日期 1998.06.08
申请人 INCAM SOLUTIONS 发明人
分类号 B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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