喷气靶激光等离子体软X射线源

摘要

本发明属于短波光学技术领域,涉及一种对带有喷气靶的激光等离子体软X射线源的改进。它由真空靶室、喷气阀、聚焦镜、差分室、真空泵、激光束组成。本发明采用激光器提供的外触发电信号控制喷气阀的电源解决了已有技术中温度控制喷嘴带来的问题,保证了激光束准确地聚焦在气体喷射量的峰值处,产生强的软X射线辐射,又使产生气体靶的过程和方法操作简单,易于控制。本发明适用于软X射线显微术、软X射线投影光刻、辐射计量等各个领域。

主权项

1、一种喷气靶激光等离子体软X射线源，它包括真空靶室1、聚焦镜3、真空泵5和激光束6，其特征在于：喷气阀2用螺钉固定在真空靶室1上，聚焦镜3置于真空靶室1的一个窗口前面，真空泵5与真空靶室1固定相连，差分室4固定在真空靶室1上并与外部装有光学元件的真空室相连，喷气阀2包括入气口7、绝缘杆8、密封杆9、弹簧10、弹簧11、压电陶瓷振子12、喷嘴13、密封橡胶14、阳极15、喷嘴入口16和阀体17，入气口7固定在阀体17上，密封杆9固定在压电陶瓷振子12上，密封杆9处于压电陶瓷振子12的中心处，密封橡胶14固定在密封杆9上并可随其一起运动。密封橡胶14处于密封杆9和喷嘴13上的喷嘴入口16之间，绝缘杆8固定在弹簧10上，弹簧10和弹簧11固定在阀体17上，喷嘴13用螺钉固定在阀体17上，阳极15固定在阀体17上并用阀体17做其阴极。