光照射器之循环气冷系统

摘要

本发明之课题为提供一种光照射器之循环气冷系统，虽然是在洁净室内被使用，却基本上不会消耗洁净空气的光照射器之循环气冷系统。为了解决此课题，本发明之手段为：一种光照射器之循环气冷系统，系被设置在洁净室内之光照射器之气冷系统，其特征为：由冷却风从光照射器排出的排气风机、以及设置在光源灯的下游位置的冷却器所构成；将通过上述光源灯而变成高温的冷却风，利用冷却器加以冷却后，使其循环再度供给至光源灯。又，在排气风机和光照射器之间，设置排气口、外部排气手段或是内部排气手段，防止光照射器的内部压力高于洁净室的压力。

主权项

1.一种光照射器之循环气冷系统,系使冷却风循环来冷却被设置在洁净室内之光照射器的光照射器之循环气冷系统,其特征为:具备:将通过上述光照射器而变成高温的冷却风,从该光照射器排气之排气风机;设置在上述排气风机的入口侧,用来冷却上述冷却风的冷却器;以及将被上述冷却器冷却后的冷却风,从上述排气风机供给至上述光照射器中的回风导管;而且,为了使上述光照射器内的压力,比上述洁净室内的压力小,在上述回风导管中,设置外部排气手段,将从上述排气风机来的冷却风的一部分,排出至上述洁净室的外部。2.一种光照射器之循环气冷系统,系使冷却风循环来冷却被设置在洁净室内之光照射器的光照射器之循环气冷系统,其特征为:具备:将通过上述光照射器而变成高温的冷却风,从该光照射器排气之排气风机;设置在上述排气风机的入口侧,用来冷却上述冷却风的冷却器;以及将被上述冷却器冷却后的冷却风,从上述排气风机供给至上述光照射器中的回风导管;而且,为了使上述光照射器内的压力,比上述洁净室内的压力小,在上述回风导管中,设置内部排气手段,将从上述排气风机来的冷却风的一部分,通过过滤器之后,排出至上述洁净室的内部空间中。图式简单说明:第1图系概要地表示关于本发明之一实施例之光照射器之循环气冷系统的构成之说明用剖面图。第2图系概要地表示关于本发明之其他实施例之光照射器之循环气冷系统的构成之说明用剖面图。第3图系概要地表示具有气冷系统之习知光照射器的构成之说明用剖面图。