| 摘要 |
本案大致提供一受热基板支撑器与其制造方法。于一实施例中，一受热支撑器包含一第一及第二板，其间安排有一加热元件。该加热元件系偏压向第一板，以对之提供良好的热传递。于另一实施例中，一受热支撑器包含一第一金属板，联结至一第二金属板并在其间包夹有至少一导件。一电阻性加热元件系为该导件所相对于该第一板作横向扣持。于本发明的另一态样中，提供有一用以加热基板的一加热室。于一实施例中，该加热室包含多数壁面，用以界定一内部容积及多数受热支撑板联结至诸壁面。该等支撑板大致彼此平行堆放于该内部容积内。一加热元件系被压靠在个个第一支撑板上。 |
