| 主权项 |
1.一种具有防尘装置之前开式晶圆盒门开装置,该前开式晶圆盒门开装置可开启一机台,作为从一前开式晶圆盒中拿取、放入一晶圆的出入口之用,该前开式晶圆盒门开装置至少包括:一内门,该内门设置于靠近该前开式晶圆盒之一侧;以及一防尘装置,该防尘装置设置于靠近该机台之一侧,该防尘装置包括;一抽气装置,该抽气装置用于抽取气体;一过滤装置,该过滤装置之进气口连接该抽气装置之出气口,该过滤装置用于过滤气体中之微粒;一出气构件,该出气构件连接该过滤装置之出气口,且该出气构件可吹出层流状态之气体;以及一进气构件,该进气构件连接该抽气装置之进气口,从该出气构件吹出之气体可经由该进气构件回到该抽气装置;其中,该出气构件与该进气构件系相对设置,且两者之间具有一空间,该空间为该晶圆进出该前开式晶圆盒之通道,且该出气构件与该进气构件所形成气幕的气体流动方向系与该晶圆表面平行,而可以吹拂该晶圆之上表面与下表面。2.如申请专利范围第1项所述之具有防尘装置之前开式晶圆盒门开装置,其中该内门与该防尘装置之间更包括设置一外门。3.如申请专利范围第1项所述之具有防尘装置之前开式晶圆盒门开装置,其中该出气构件内设置有复数个小管。4.如申请专利范围第1项所述之具有防尘装置之前开式晶圆盒门开装置,其中该抽气装置包括鼓风机。5.如申请专利范围第1项所述之具有防尘装置之前开式晶圆盒门开装置,其中该机台包括反应炉管。6.如申请专利范围第1项所述之具有防尘装置之前开式晶圆盒门开装置,其中该气体包括氮气。7.一种防尘装置,设置于一机台之一晶圆出入口,该防尘装置包括;一抽气装置,该抽气装置用于抽取气体;一过滤装置,该过滤装置之进气口连接该抽气装置之出气口,该过滤装置用于过滤气体中之微尘;一出气构件,该出气构件连接该过滤装置之出气口,且该出气构件可吹出层流状态之气体;以及一进气构件,该进气构件连接该抽气装置之进气口,从该出气构件吹出之气体可经由该进气构件回到该抽气装置;其中,该出气构件与该进气构件系相对设置,且两者之间具有一空间,该空间为该晶圆进出该机台之通道,且该出气构件与该进气构件所形成气幕的气体流动方向系与该晶圆表面平行,而可以吹拂该晶圆之上表面与下表面。8.如申请专利范围第7项所述之防尘装置,其中该出气构件内设置有复数个小管。9.如申请专利范围第7项所述之防尘装置,其中该抽气装置包括鼓风机。10.如申请专利范围第7项所述之防尘装置,其中该机台包括反应炉管。11.如申请专利范围第7项所述之防尘装置,其中该气体包括氮气。图式简单说明:第1图系为绘示习知之反应炉管上视示意图;第2图系为绘示设置本发明之具有防尘装置之前开式晶圆盒门开装置的反应炉管上视示意图;第3A图与第3B图所绘示为本发明一较佳实施例之防尘装置的结构示意图;以及第4图所绘示为晶圆通过防尘装置之示意图。 |
