Bearbeitungsmittelbestimmungsverfahren für eine kombinierte Ultrapräzisionsbearbeitungsvorrichtung und kombinierte Ultrapräzisionsbearbeitunsvorrichtung

摘要

Bereitgestellt wird ein Verfahren zum Bestimmen eines Bearbeitungsmittels in einer hybriden Ultrapräzisionsbearbeitungsvorrichtung zum Herstellen eines mikrobearbeiteten Erzeugnisses aus einem Werkstück, wobei die Bearbeitungsvorrichtung umfasst: ein elektromagnetische Wellen nutzendes Bearbeitungsmittel zum Grobbearbeiten des Werkstückes; ein Präzisionsbearbeitungsmittel zum Präzisionsbearbeiten des grobbearbeiteten Werkstückes; und ein Formmessmittel zum Messen einer Form des Werkstückes bei Verwendung des elektromagnetische Wellen nutzenden Bearbeitungsmittels und des Präzisionsbearbeitungsmittels, wobei eine Wahl zwischen dem elektromagnetische Wellen nutzenden Bearbeitungsmittel und dem Präzisionsbearbeitungsmittel bei der Bestimmung des Bearbeitungsmittels getroffen wird auf Grundlage von: Information über ein stereoskopisches Modell des mikrobearbeiteten Erzeugnisses; Information über ein Abtragungsvolumen, das von einem Volumen des Werkstückes bei der Herstellung des mikrobearbeiteten Erzeugnisses abgetragen wird; und Daten über eine Abtragungsprozesszeit des elektromagnetische Wellen nutzenden Bearbeitungsmittels und Daten über eine Abtragungsprozesszeit des Präzisionsbearbeitungsmittels.