曝光装置之制造方法,光源单元、曝光装置、曝光方法以及曝光装置的调整方法

摘要

在使用者之现有设备下对于采用水银灯等光源的曝光装置，可以有固体光源的使用。使用含有聚光光学系统之照明光学系统而照明一罩幕，将该罩幕之图案转印到感光性基板之曝光装置的制造方法，包括将多个固体光源配置于该聚光光学系统之前侧焦点位置或是与其光学共轭之位置之固体光源配置步骤(S11)，以及对应于与该些固体光源不同之光源被设定成适当的第1状态之该照明光学系统的特性，藉由该些固体光源的配置，而设定成适当的第2状态之特性(S12～S16)。