发明名称 Verfahren und System zum Ermitteln eines optischen Gangunterschieds zwischen in einem doppelbrechenden Objekt entstehenden Teillichtwellen
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ermitteln eines optischen Gangunterschieds zwischen in einem doppelbrechenden Objekt (2) entstehenden Teillichtwellen, wobei das Objekt (2) bezüglich einer optischen Achse (3) in Reihe zu wenigstens einem relativ zum Objekt (2) um die optische Achse (3) drehbaren Kompensator (6) mit bekanntem optischen Gangunterschied zwischen in dem Kompensator (6) entstehenden Teillichtwellen angeordnet wird, wobei das Objekt (2) und der Kompensator (6) bezüglich der optischen Achse (3) in Reihe zwischen wenigstens zwei gekreuzten Polarisationsfiltern (5, 7) angeordnet werden, wobei eine aus dem Objekt (2), dem Kompensator (6) und den Polarisationsfiltern (5, 7) gebildete Anordnung entlang der optischen Achse (3) mit polychromatischem Licht beleuchtet wird. Um ein Verfahren zum Ermitteln eines optischen Gangunterschieds zwischen in einem doppelbrechenden Objekt (2) entstehenden Teillichtwellen derart weiterzubilden, dass im Vergleich zu herkömmlichen Verfahren der Messbereich erweitert, die Messgenauigkeit erhöht und die Auswertung vereinfacht wird, wird mit der Erfindung vorgeschlagen, dass bei wenigstens zwei um π/2 zueinander versetzten Relativstellungen zwischen dem Kompensator (6) und dem Objekt (2) jeweils ein Intensitätsspektrum eines von der Anordnung ausgehenden Lichts erfasst wird, wobei der optische Gangunterschied zwischen den im Objekt (2) entstehenden Teillichtwellen unter Berücksichtigung einer sich aus den erfassten Intensitätsspektren ergebenden relativen spektralen Intensitätsänderung ermittelt wird.
申请公布号 DE102015201909(B4) 申请公布日期 2016.10.20
申请号 DE201510201909 申请日期 2015.02.04
申请人 Technische Universität München 发明人 Van Opdenbosch, Daniel;Zollfrank, Cordt
分类号 G01J9/00;G01B11/06;G01J3/28;G01N21/23 主分类号 G01J9/00
代理机构 代理人
主权项
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