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发明名称 METHOD OF FORMING A DEEP TRENCH IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20070047015(A) 申请公布日期 2007.05.04
申请号 KR20050103662 申请日期 2005.11.01
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 PARK, KUN JOO
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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