| 摘要 |
붕소 이온 주입 동안의 빔 전류를 개선하기 위한 신규한 조성물, 시스템 및 그 방법이 제공된다. 붕소 이온 주입 공정은 특정 농도 범위의 BH, BF및 H를 이용하는 것을 포함한다. BH은 활성 수소 이온 화학종의 생성 및 주입 동안에 이용되는 이온 공급원의 동작 아크 전압에서 BF의 이온화 단면적보다 큰 이온화 단면적을 갖는 것으로 선택된다. 수소는 F 이온 스캐빈징의 감소 없이, 보다 높은 수준의 BH이 BF에 도입되도록 한다. 활성 붕소 이온은 통상의 붕소 전구 물질로부터 발생된 빔 전류와 비교하였을 때, 이온 공급원의 열화 발생 없이 빔 전류 수준의 유지 또는 증가를 특징으로 하는 개선된 빔 전류를 발생시킨다. |
