| 发明名称 |
プラズマ処理システムのためのアンテナアレイ構成 |
| 摘要 |
本発明は概して、第１の専用高周波ジェネレータに結合された第１の閉ループアンテナアレイを備える第１の電磁波アプリケータと、第１の閉ループアンテナアレイに隣接して配置され、第２の専用高周波ジェネレータに結合された第２の閉ループアンテナアレイを備える第２の電磁波アプリケータとを備え、第１の閉ループアンテナアレイと第２の閉ループアンテナアレイはそれぞれ、一対の直線プラズマ管を備える、堆積システムに関する。【選択図】図２ |
| 申请公布号 |
JP2016530699(A) |
申请公布日期 |
2016.09.29 |
| 申请号 |
JP20160516652 |
申请日期 |
2014.04.15 |
| 申请人 |
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ |
发明人 |
ホワイト， ジョン エム．;クデラ， ジョゼフ |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/509;H01L21/31;H05H1/46 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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