APPARATUS AND METHOD FOR ASSESSMENT OF FLEXIBLE MULTI-LAYERED THIN FILM

摘要

본 발명의 실시예들에 따른 플렉서블 다층 박막 내구성 평가 방법은 다층 박막을 구성하는 박막들에 대한 나노 압입 시험(nano-indentation test)에 따른 하중-깊이 곡선을 획득하는 단계, 하중-깊이 곡선의 형상으로부터 각 박막들의 탄성계수들을 산출하는 단계, 다층 박막의 두께 상에서 중립축 위치-탄성계수비 관계를 도출하는 단계, 도출된 중립축 위치-탄성계수비 관계와, 다층 박막을 구성하는 박막들의 탄성계수들로부터 획득된 탄성계수비 측정값에 따라, 중립축 위치를 결정하는 단계를 포함할 수 있다. 탄성계수비는 다층 박막 중 하부 박막의 탄성계수에 대한 상부 박막의 탄성계수의 비로 정의될 수 있다.