发明名称 PRODUCTION OF INSULATED GATE FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS5397779(A) 申请公布日期 1978.08.26
申请号 JP19770012147 申请日期 1977.02.08
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 IWASAKI HIROSHI;OZAWA OSAMU;SASAKI YOSHITAKA
分类号 H01L29/78;H01L21/20;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/06;H01L29/40 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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