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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54125979(A) 申请公布日期 1979.09.29
申请号 JP19780032986 申请日期 1978.03.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 MURAMATSU SHINICHI;MUKAI KIICHIROU;HARADA YUKIYOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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