发明名称 Application of an electroforming process to the preparation of precise flat pack components.
摘要 Verfahren zur Herstellung von Präzisionsflachteilen, wie Masken, Schablonen und so weiter mit kleinsten Öffnungen und Konturendetails bei großer Materialstärke, sowie hohen Anforderungen an Konturenausformung und Konstanz der Abmessungen. Der metallisierte Glasträger ist gleichzeitig Belichtungsmaske.
申请公布号 EP0006459(A2) 申请公布日期 1980.01.09
申请号 EP19790101647 申请日期 1979.05.29
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 TRAUSCH, GUNTER-ELMAR, DIPL.-ING.
分类号 C25D5/02;C25D1/10;G03F1/00;G03F1/02;G03F7/00;G03F7/20;(IPC1-7):C25D1/08;C23F1/08 主分类号 C25D5/02
代理机构 代理人
主权项
地址