| 发明名称 |
PREPARING METHOD OF INORGANIC THIN FILM CONTAINING MULTIPLE PRECURSORS |
| 摘要 |
다중 전구체를 함유하는 무기박막의 제조방법 및 상기 무기박막의 제조장치에 관한 것이다. |
| 申请公布号 |
KR101685367(B1) |
申请公布日期 |
2016.12.12 |
| 申请号 |
KR20150187853 |
申请日期 |
2015.12.28 |
| 申请人 |
성균관대학교산학협력단 |
发明人 |
서상준;조성민;유지범;정호균 |
| 分类号 |
C23C16/22;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;C23C16/52 |
主分类号 |
C23C16/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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