| 摘要 |
본 발명은 고정 챔버와 회전 챔버를 간단한 동작에 의하여 합체 및 분리시키고 진공을 형성하여 공정시간을 단축하면서도, 장치가 차지하는 공간을 최소화할 수 있는 진공 합착장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 진공 합착장치는, 제1 피합착부재(2)가 상면에 장착되며, 접합면이 상측을 바라보는 상태로 설치되는 고정 챔버(110); 상기 고정 챔버(110)와 결합하여 진공 챔버를 이루며, 제2 피합착부재(3)가 상면에 장착되는 회전 챔버(120); 상기 회전 챔버(120)의 일측 가장자리를 회전축으로 하여 상기 회전 챔버(120)를 상기 고정 챔버(110)와의 결합 위치 및 제1 피합착부재(3) 장착 위치로 반복회전시키는 챔버 회전수단(130); 상기 고정 챔버(110)에 설치되며, 상기 고정 챔버(110)를 미세 회전 및 틸팅구동시켜 상기 제1 합착부재(2)와 제2 합착부재(3)의 정확한 합착 위치를 조정하는 얼라인 수단(140); 상기 고정 챔버(110) 또는 상기 회전 챔버(120) 중 어느 하나에 설치되며, 상기 고정 챔버(110)와 회전 챔버(120)가 결합하여 형성되는 진공 챔버 내부의 기체를 흡입하여 배출하는 배기수단(도면에 미도시);을 포함한다. |
