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发明名称 SELECTIVE ETCHING OF POLYMERIC MATERIALS EMBODYING SILICONES VIA REACTOR PLASMAS
摘要
申请公布号 EP0010657(B1) 申请公布日期 1984.09.19
申请号 EP19790103897 申请日期 1979.10.11
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 STEIN, LEONARD
分类号 B01J19/08;C08J7/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/312;(IPC1-7):01L21/306;01L21/263 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
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