| 摘要 |
본 발명의 일 실시예는 기판에 대하여 박막을 증착하기 위한 기상 증착 장치에 관한 것으로서, 적어도 하나 이상의 기체를 공급하도록 형성된 복수의 선형의 공급 부재를 구비하는 공급부 및 상기 복수의 공급 부재에 연결되고 상기 기판 방향으로 상기 기체를 제공하는 복수의 노즐 부재를 구비하는 노즐부를 포함하고, 상기 복수의 노즐 부재 중 서로 인접한 두 개의 노즐 부재는 상기 복수의 공급 부재 중 적어도 하나의 공통의 공급 부재에 연결되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기상 증착 장치를 개시한다. |
