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发明名称 FORMATION OF INTERLAYER INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPS6233430(A) 申请公布日期 1987.02.13
申请号 JP19850172802 申请日期 1985.08.06
申请人 RICOH CO LTD 发明人 SERA TSUKASA;MIYAGUCHI YOICHIRO
分类号 H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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