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发明名称 FORMATION OF GATE ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH0316229(A) 申请公布日期 1991.01.24
申请号 JP19890149611 申请日期 1989.06.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 MITANI KATSUHIKO;MIYAZAKI MASARU;NISHIDA TAKASHI
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/417 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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