发明名称 SYSTEM FOR CONTROLLING CRYSTAL GROWTH APPARATUS AND MELT REPLENISHMENT SYSTEM THEREFOR.
摘要 Un système de commande (fig. 1) pour régler le fonctionnement d'un système (18) pour remettre de la matière en fusion dans le creuset (24) d'un appareil (20) destiné à la croissance de corps cristallins tubulaires (22) d'un matériau choisi est décrit. Le système de réapprovisionnement en matière en fusion (18) comprend un récipient (302) pour stocker des particules solides dudit matériau choisi et un distributeur (306) pour transporter les particules du récipient (302) au creuset (24). Le système de commande régule la vitesse à laquelle le distributeur (306) transporte les particules du récipient (302) au creuset (24) sur la base du poids de particules solides stockées dans le récipient (302), le poids du corps cristallin (22), et la pression à l'intérieur du corps cristallin (22). En outre, le système de commande peut être adapté pour réguler la température du dispositif de chauffage (26) du creuset de l'appareil (20). Cette invention permet de compenser les erreurs de mesure de poids provoquées par des fluctuations de pression à l'intérieur du corps cristallin tubulaire (22).
申请公布号 EP0474810(A1) 申请公布日期 1992.03.18
申请号 EP19910905446 申请日期 1991.02.21
申请人 MOBIL SOLAR ENERGY CORPORATION 发明人 MACKINTOSH, BRIAN, H.;ERISS, LAWRENCE
分类号 C30B15/20;C30B15/00;C30B15/02;C30B15/22;C30B15/28;C30B15/34;H01L21/208 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
主权项
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