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发明名称 ASHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04150014(A) 申请公布日期 1992.05.22
申请号 JP19900273299 申请日期 1990.10.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANAKA TOSHIHIKO;TADANO KEIKO;HASEGAWA NORIO
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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