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发明名称 PATTERN FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH05226210(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920069067 申请日期 1992.02.17
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KUROSE TAKASHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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