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发明名称 EXPOSURE APPARATUS FOR PROJECTING LIGHT REDUCIBLY
摘要
申请公布号 JPH07221007(A) 申请公布日期 1995.08.18
申请号 JP19940027254 申请日期 1994.01.31
申请人 NEC CORP 发明人 YASUSATO TADAO
分类号 G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
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