发明名称 汽化器结构之改良
摘要 本创作系关于一种汽化器结构之改良,尤指一种内部容置有固态源(SOLID SOURCE)经加热转成汽态源后予以喷出之汽化装置,其主要系于汽化器之导管前端外套有一钼制喷嘴,其中导管系由不锈钢制成,当汽态源喷出时将于导管前端离子化而形成高温,此时导管前端将向外膨胀,而与迫紧喷嘴相互迫紧,藉此可有效防止气漏现象;又汽化器内设有网目较大的筛网,以防止于液态源喷出时造成阻塞。
申请公布号 TW287723 申请公布日期 1996.10.01
申请号 TW085201486 申请日期 1996.01.29
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 朱仲华
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 林镒珠 台北巿长安东路二段一一二号九楼
主权项 1. 一种汽化器结构之改良,其主要系于筒状本体一端设有不锈钢导管,导管前端设有一喷嘴,又筒状本体内部于相邻导管一端设有一筛网,其特征在于:该喷嘴系以外套方式结合于导管前端;又该筛网系具有较大网目者。2. 如申请专利范围第1项所述汽化器结构之改良,该喷嘴上分别形成有轴向且相互连通之喷孔及套孔,其中套孔系用以外套于导管前端者。3. 如申请专利范围第1项所述汽化器结构之改良,该筛网系由多层网体相叠构成,每层网体分别由交织之细铁丝构成。图示简单说明:第一图:系本创作之剖视图。第二图:系本创作筛网之外视图。第三图:系习用汽化器之剖视图。
地址 新竹科学工业园区园区三路一二一号