| 发明名称 | 金属膜、氧化膜电阻高速高质镀膜机 | ||
| 摘要 | 一种金属膜、氧化膜电阻高速高质镀膜机，其主要技术特征是在真空室内的靶体上装着引燃装置，靶体上装着表面积小、厚度大的靶材，靶体和靶材中间装着电磁线圈，从而实现了低电压、大电流镀膜。镀出的电阻膜膜层均匀、附着力强、阻段范围宽、电阻性能稳定，效率高、能耗小、成本低。 | ||
| 申请公布号 | CN2245619Y | 申请公布日期 | 1997.01.22 |
| 申请号 | CN95221640.X | 申请日期 | 1995.09.15 |
| 申请人 | 天津雷霆真空系统工程有限公司 | 发明人 | 李家齐;王如鑫;左太森 |
| 分类号 | C23C14/22 | 主分类号 | C23C14/22 |
| 代理机构 | 南开大学专利事务所 | 代理人 | 李国茹 |
| 主权项 | 1、一种金属膜、氧化膜电阻高速高质镀膜机，其结构是：真空室(1)固装在带有输气针阀(2)的底座(3)上，针阀通过管路与真空室连接，真空室通过装有放气阀(4)的管道(5)和高真空阀(6)与真空扩散泵(7)连接，真空机械泵(8)通过压差阀(9)和上、下管道阀(10)和(11)分别与真空扩散泵(7)和管道(5)连接，电器控制柜(12)通过导线分别与真空室、真空扩散泵和真空机械泵连接，管道(5)上和上、下管道阀之间装有真空规管(13)、(14)，真空室筒体(15)内垂直于法兰(16)固装着其上有靶材(17)的靶体(18)，靶体的端部装着冷却水进水口(19)、出水口(20)和电源接线柱(21)，其特征在于：靶体上装着引燃装置，并连接在直流电源(28)上，靶体与靶材中间装着电磁线圈(22)，以实现靶表面磁场可控，靶材表面积小、厚度大(长250～280mm、宽80～100mm、厚10～30mm)。 | ||
| 地址 | 300113天津市南开区川府新村田川里7号楼2门501 | ||