主权项 |
1.一种半导体试验装置之比较器,系进行DUT(100)输出之差动信号(101.102)两者间之差动动作试验之半导体试验装置之比较器,其特征在于,备有:接受DUT送出之差动信号(101.102),输出赋与一定之补偿电压之输出信号(111.112)之补偿加算器(30);以及接受该补偿加算器(30)之两输出信号,比较两信号而输出之比较器(71)。2.一种半导体试验装置之比较器,系进行DUT(100)输出之差动信号(101.102)两者间之差动动作试验之半导体试验装置之比较器,其特征在于,备有:接受DUT之一方之差动信号(101),切换到此差动信号(101)或固定电位而输出之切换开关(SW51);接受DUT之另一方之差动信号(102),切换到此差动信号(102)或固定电位而输出之切换开关(SW52);接受该切换开关(SW51.SW52)之信号,输出赋与一定之补偿电压之输出信号(111.112)之补偿加算部(30);以及接受该补偿加算部(30)之两输出信号,比较两信号而输出之比较器(71)。3.一种半导体试验装置之比较器,系进行DUT(100)输出之差动信号(101.102)两者间之差动动作试验之半导体试验装置之比较器,其特征在于备有:接受DUT之一方之差动信号(101),而选择输出此差动信号(101)之切换开关(SW55,SW57);接受DUT之另一方之差动信号(102),而选择输出此差动信号(102)之切换开关(SW56,SW58);接受该切换开关(SW55.SW56)之信号,输出赋与一定之补偿电压之输出信号(111.112)之补偿加算部(30);接受该补偿加算部(30)之两输出信号,比较两信号而输出之比较器(73);接受该切换关系(SW57)之信号,并接受一定之补偿电压,比较两信号而输出之比较器(71);以及接受该切换关系(SW58)之信号,并接受一定之补偿电压,比较两信号而输出之比较器(72)。4.如申请专利范围第1,2或3项之半导体试验装置之比较器,其补偿加算部(30)系接受DUT送出之差动信号(101.102),藉比较电压(V083)在两信号间赋与一定之补偿电压而输出。5.一种半导体试验装置之比较器,系进行DUT(100)输出之差动信号(101.102)两者间之差动动作试验之半导体试验装置之比较器,其特征在于,备有:接受DUT之两差动信号(101.102)而放大输出之差动放大器(76);以及接受该差动放大器(76)之信号,送给比较器(71)之一端,在另一端供给临界(threshold)比较电压(V083),比较两信号而输出之比较器(71)。第一图系本发明之判定比较DUT送出之平衡传输信号之一个频道之比较器部之主要部分电路构成例子;第二图系本发明之补偿加算部30之内部电路构成例子;第三图系本发明之使用差动放大器76与比较器71作为比较器部之一构成例子;第四图系本发明之配设切换用开关,追加DUT差动信号101.102每一个信号之单独试验机能之比较器部之主要部分电路构成例子;第五图(a)系表示,使用传统之两个比较器,DUT输出信号有同相波峰波形时,两比较器之逻辑判定之误认例子之图;第五图(b)系表示,使用传统之两个比较器,两DUT输出信号间之迁移定时有很大偏移时之两比较器输出定时之偏移之图;第六图系传统之判定比较DUT送出之平衡传输信号之一个频道之比较器部之主要分电路构成例子。第七图系本发明之配设比较差动信号之比较器部,与传统之比较电路之两个电路,而切换两者来使用之构成例子;第八图(a)、(b)系本发明之判定比较DUT送出之差动输出信号之概念图;第九图系本发明之配设切换开关,同时进行DUT差动信号101.102每一个信号之单独试验机能,及平衡传输试验机能之构成例子。 |