| 摘要 |
본 발명의 목적은 기판이 기판 척으로부터 이탈되는지 여부를 공정 진행 중 항시 감시할 수 있는 시스템을 기판 척 장치에 추가하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라 본 발명은 기판 척에 기판 감지 센서를 구비하여 기판이 부착되어 있는지 이탈되었는지를 또는 부분적으로 이탈되었는지를 상시 감시할 수 있는 기판 감지 기능을 구비한 기판 척을 제공하였다. 상기 기판 감지 센서는 직반사형 포토일렉트릭 센서로 구성될 수 있고, 다수의 감지 센서를 기판 척에 부착하여 기판이 기판 척으로부터 완전히 이탈된 경우 외에 일부 구간에서 이탈된 부분이탈 상태로 감지할 수 있게 하였다. 또한, 소자가 형성되지 않는 비 증착 구역에 상기 기판 감지 센서를 배치하여 증착 공정 등 다른 공정에 간섭이 없게 하였고, 무선 통신 모듈을 추가하여 기판이 들어 있는 챔버 외에서 상황을 판단할 수 있게 하였다. |
