热氮加热器之温控装置

摘要

本发明系有关一种热氮加热器之温控装置，藉由在原有的温控装置单元配置中增设一温度控制单元(以WATLOGTYPE 965 temperature controller较佳)，将原加热器控制单元与加热器单元间的线路截断并串接该温度控制单元，可由新增的温度控制单元以代替原有的加热器控制单元来控制加热器单元的加热动作，并且，将原有过热感测元件与过热模组单元间的线路并联接至新增之温度控制单元，使其可监测加热元件的实际温度，并据以控制氮气的加热过程，不仅可使加热过程及温度曲线大为稳定，减少因偶发的脉冲造成警示(Alarm)甚至停机(Down Time)的发生，且因该温度控制单元可供温度控制范围(Temperature Control Range)及警示设定温度(Alarm setpoint)很方便地进行任意的调整，因此可在使用上具有更佳的便利性者。

主权项

1.一种热氮加热器之温控装置,包括有:一加热器单元,可产生热量以加热氮气,其包括有一加热元件、一氮气入口、一氮气出口、一过热感测元件及一热氮温度感测元件;一加热器控制单元,可控制对加热器单元的电源供应;一过热模组单元,分别联接有该过热感测元件及加热器控制单元,可监测加热元件的温度并在过热时发出警示同时命令加热器控制单元停止对加热器单元的电源供应;一监测单元,分别联接有该热氮温度感测元件及加热器控制单元,可对热氮气温度加以监测、记录及分析;以及一温度控制单元,其特征在于:该加热器单元与加热器控制单元间系以串联的方式串接有该温度控制单元,并将过热感测元件与过热模组单元之间的线路以并联方式联接至温度控制单元,而该温度控制单元系内含有微处理器,可监测加热元件的温度并据以控制对加热元件的电源供应,而可将热氮气的温度维持在一预设定的范围内者。2.如申请专利范围第1项所述之热氮加热器之温控装置,其中该温度控制单元之控温范围预设定値(Control Range)及警示设定値(Alarm SetPoint)等参数可直接由其控制面板上随意的变更者。3.如申请专利范围第1项所述之热氮加热器之温控装置,其中该温度控制单元可为一WATLOW TYPE 965之温度控制器者。4.如申请专利范围第1项所述之热氮加热器之温控装置,其中该过热感测元件及热氮温度感测元件可为温度热电容(Thermal Couple)。图式简单说明:第一图系习用热氮加热器之温控装置单元配置图。第二图系习用之加热器单元示意图。第三图系本发明热氮加热器之温控装置之单元配置图。第四图系本发明之加热器单元示意图。第五图系本发明之一实施例与习知技术之实际测试比较。