LIQUID METAL BASED RECONFIGURABLE PHOTOMASK AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

摘要

본 발명은 마이크로 유체 기반 가변 포토마스크 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 중공을 형성시킨 투광성기판과, 중공에 충진된 마이크로 유체와, 마이크로 유체를 가변시키는 가변자를 포함한다. 본 발명에 따르면, 패턴을 가변시킬 수 있으므로 다양한 포토마스크로의 이용이 가능하다.