发明名称 一种可随机编码之非挥发半导体记忆体
摘要 本发明系提供一种可进行随机编码(random programming)之非挥发半导体记忆体。该非挥发半导体记忆体包含有一具有一记忆体区之第一导电型半导体基底,一设于该记忆体区内之该半导体基底中之第二导电型深离子井,及一设于该深离子井内且由一浅沟绝缘层(STI layer)所隔离之第一导电型浅离子井(shallow well)。并且,于该浅离子井内之该半导体基底上设有复数个NAND记忆串区块(NAND cell block),而在该半导体基底上方设有一位元线,其用来藉由一延伸至该浅离子井之插塞(plug),于一编码模式下提供该浅离子井一第一预定电压,而于一抹除模式下提供该浅离子井一第二预定电压。
申请公布号 TW523917 申请公布日期 2003.03.11
申请号 TW090128377 申请日期 2001.11.15
申请人 力旺电子股份有限公司 发明人 杨青松;沈士杰;徐清祥
分类号 H01L27/115 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人 许锺迪 台北县永和市福和路三八九号五楼
主权项 1.一种非挥发半导体记忆体,可进行随机编码(random programming),该非挥发半导体记忆体包含有: 一第一导电型半导体基底,具有一记忆体区; 一第二导电型深离子井,设于该记忆体区内之该半 导体基底中; 一第一导电型浅离子井(shallow well),设于该深离子 井内,且由一浅沟绝缘层(STI layer)所隔离; 至少一NAND记忆串区块(NAND cell block),设于该浅离子 井内之该半导体基底上;以及 一位元线,设于该半导体基底上方,用来藉由一延 伸至该浅离子井之插塞(plug),于一编码模式下提供 该浅离子井一第一预定电压,而于一抹除模式下提 供该浅离子井一第二预定电压。2.如申请专利范 围第1项所述之非挥发半导体记忆体,其中该浅离 子井具有一井深(well depth)小于该浅沟绝缘层之厚 度。3.如申请专利范围第1项所述之非挥发半导体 记忆体,其中该第一导电型为P型,该第二导电型为N 型。4.如申请专利范围第1项所述之非挥发半导体 记忆体,其中该NAND记忆串区块包含有复数个可重 复写入(rewritable)串联记忆胞(memory cells)以及一选 择电晶体(selecting transistor)设于该串联记忆胞之一 端,而该插塞系设于该串联记忆胞之另一端。5.如 申请专利范围第4项所述之非挥发半导体记忆体, 其中该选择电晶体系与一源极线(source line)电连接 。6.如申请专利范围第4项所述之非挥发半导体记 忆体,其中该记忆胞包含有一堆叠闸极结构。7.如 申请专利范围第4项所述之非挥发半导体记忆体, 其中该记忆胞系为一SONOS记忆胞。8.一种可抹除可 编码唯读记忆体(electrically erasable programmable read- only memory, EEPROM),包含有: 一半导体基底,具有一记忆体区; 一浅离子井,设于该记忆体区内,且由一浅沟绝缘 层隔离; 一深离子井,设于该记忆体区内之该浅离子井下方 ; 复数个NAND记忆串区块(NAND cell block),设于该浅离子 井内之该半导体基底上;以及 至少一位元线,设于该半导体基底上方,该位元线 藉由一延伸至该浅离子井之插塞(plug)与该浅离子 井电连接。9.如申请专利范围第8项所述之可抹除 可编码唯读记忆体,其中各该浅离子井具有一井深 (well depth)小于该浅沟绝缘层之厚度。10.如申请专 利范围第8项所述之可抹除可编码唯读记忆体,其 中于一编码模式下该位元线提供该浅离子井一第 一预定电压,而于一抹除模式下提供该浅离子井一 第二预定电压。11.如申请专利范围第10项所述之 可抹除可编码唯读记忆体,其中该编码模式系利用 一福乐诺汉隧穿机制(Fowler-Nordheim tunneling mechanism) 进行。12.如申请专利范围第10项所述之可抹除可 编码唯读记忆体,其中该第一预定电压为5伏特,该 第二预定电压为-10伏特。13.如申请专利范围第8项 所述之可抹除可编码唯读记忆体,其中各该NAND记 忆串区块包含有复数个可重复写入(rewritable)串联 记忆胞(memory cells)以及一选择电晶体(selecting transistor)设于该串联记忆胞之一端。14.如申请专 利范围第13项所述之可抹除可编码唯读记忆体,其 中该选择电晶体系与一源极线(source line)电连接。 15.如申请专利范围第13项所述之可抹除可编码唯 读记忆体,其中该记忆胞包含有一堆叠闸极结构。 16.如申请专利范围第13项所述之可抹除可编码唯 读记忆体,其中该记忆胞系为一SONOS记忆胞。图式 简单说明: 图一为习知NAND型EEPROM的剖面示意图。 图二为本发明NAND型非挥发半导体记忆体之等效电 路图。 图三为本发明NAND型非挥发半导体记忆体之布局图 。 图四为图三中NAND型非挥发半导体记忆体沿着位元 线的剖视图。 图五为本发明NAND型非挥发半导体记忆体之另一实 施例。 图六为本发明中具有堆叠闸极结构之非挥发半导 体记忆体的操作条件。 图七为本发明中具有SONOS记忆胞之非挥发半导体 记忆体的操作条件。
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