| 主权项 |
1.一种于半导体装置及液晶显示装置制造过程中用以洁净的稀释剂组合物,其包含:20至60份重量之丙二醇单烷基醚醋酸酯;40至80份重量之环酮;0.001至0.1份重量之聚环氧乙烷为底之缩聚物;及0.001至0.1份重量之氟化之丙烯酸共聚物。2.如申请专利范围第1项所述之稀释剂组合物,其中之丙二醇单烷基醚醋酸酯系选自由丙二醇单甲基醚醋酸酯、丙二醇单乙基醚醋酸酯、丙二醇单丙基醚醋酸酯、及丙二醇单丁基醚醋酸酯所组成之族群中。3.如申请专利范围第1项所述之稀释剂组合物,其中之环酮系选自由环戊酮、环己酮、环庚酮所组成之族群中。4.如申请专利范围第1项所述之稀释剂组合物,其中之聚环氧乙烷为底之缩聚物乃是由烷基苯酚与聚环氧乙烷所形成的缩聚物。5.一种可去除光敏树脂之色素稀释剂组合物,其包含:20至60份重量之丙二醇单烷基醚醋酸酯;40至80份重量之环酮;0.001至0.1份重量之聚环氧乙烷为底之缩聚物;及0.001至0.1份重量之氟化之丙烯酸共聚物。 |
