用于形成高纵横比接触孔之蚀刻方法及组合物

摘要

揭示一种用于形成高纵横比接触孔之蚀刻方法，其所使用之蚀刻用电浆气体组合物系包含氩气、第一碳氟化合物、氧气以及第二碳氟化合物，其中第二碳氟化合物之氟碳比系高于第一碳氟化合物。本发明之方法可使接触孔轮廓维持良好，并可减少蚀刻中产生的蚀刻停止物堆积。