自我对准之非挥发性记忆体单元及其制程

摘要

本发明揭示浮闸结构，其具有一自基板之表面延伸之投影。此投影可增加浮闸表面积以耦合浮闸与控制闸。在一实施例中，字元线在浮闸每一侧向下延伸以遮蔽相同串中之相邻的浮闸。在另一实施例中，揭示具有投影之浮闸的制程。可如此形成投影使其自我对准浮闸之其余部分。