发明名称 VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER SPANNUNGEN IN EINER DUENNEN SCHICHT
摘要
申请公布号 DE2314261(A1) 申请公布日期 1974.09.26
申请号 DE19732314261 申请日期 1973.03.22
申请人 IBM DEUTSCHLAND GMBH 发明人 BOHG,ARMIN,DIPL.-PHYS.
分类号 G01B15/06;G01N23/203;(IPC1-7):G01B15/06 主分类号 G01B15/06
代理机构 代理人
主权项
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