| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR ELEMENT CHARACTERISTIC TESTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5674665(A) |
申请公布日期 |
1981.06.20 |
| 申请号 |
JP19790152652 |
申请日期 |
1979.11.26 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
TAKEDA MASAHIRO;KAMATA HIROKI |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/26;G11C29/00;G11C29/56;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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