| 发明名称 |
PRODUCTION OF POLYCRYSTALLINE SILICON ROD HAVING LARGE DIAMETER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6374909(A) |
申请公布日期 |
1988.04.05 |
| 申请号 |
JP19860221493 |
申请日期 |
1986.09.19 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
YAMAGUCHI HISAFUKU;WATANABE HIROSHI;TANAKA TAKASHI |
| 分类号 |
C01B33/02;C01B33/035;C23C16/24 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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