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发明名称 MANUFACTURE OF PASSIVATION FILM
摘要
申请公布号 JPH04365326(A) 申请公布日期 1992.12.17
申请号 JP19910141651 申请日期 1991.06.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 CHINO TOYOJI;MATSUDA KENICHI;SHIBATA ATSUSHI
分类号 H01L21/312;H01L21/316 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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