| 发明名称 |
FORMATION OF MULTILAYER THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06177126(A) |
申请公布日期 |
1994.06.24 |
| 申请号 |
JP19920322133 |
申请日期 |
1992.12.01 |
| 申请人 |
ALPS ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
FUKUDA KOICHI;SASAKI NOBUHIKO;FUKUI HIROFUMI;IWASAKI CHISATO;KASAMA YASUHIKO;ABE AKIRA;MIMORI KENICHI;SASAKI MAKOTO |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/320;H01L29/784 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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